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DIN EN ISO 14644-13:2017 Edition

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Reinräume und zugehörige Reinraumbereiche – Teil 13: Reinigung von Oberflächen zur Erreichung definierter Reinheitsgrade hinsichtlich Partikel- und Chemikalienklassifikationen

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DIN 2017-11 44
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Der Norm-Entwurf behandelt die Reinigung von Reinraumoberflächen, Oberflächen der Ausrüstung in einem Reinraum und Oberflächen von Materialien in einem Reinraum bis zu einem festgelegten Grad. Der Norm-Entwurf enthält Anleitungen zur Bewertung von Reinigungsverfahren zum Erreichen der geforderten Klassen der partikulären Oberflächenreinheit und der chemischen Oberflächenreinheit und in Bezug darauf, welche Techniken zum Erreichen dieser festgelegten Grade berücksichtigt werden sollten.*Inhaltsverzeichnis

DIN EN ISO 14644-13
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